4工位/单工位恒温台
产品分类
全部分类
自动上下料，自动对位、自动压接、自动测试
平坦度≤±5um,位置精度≤±0.1um
漏检率≤0.3%、过检率≤5%
自主开发软件算法，配置自动上报CIM功能
尺寸 长*宽*高： 1.5m *1.5m *2.0m
样品大小 8~23in
相机 最高支持：分变率：14144 x 10624 Luminance: ±3%；Color (Cx,Cy): ± 0.003
检验精度 5um
运动系统 采用高精度伺服电机，高精度滚珠螺杆，微米级
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