高速清洗机
产品分类
全部分类
特点:
自主研发采用进口相机和系统设计，支持自行编程操作且简单易懂；
设备技术参数:
产品型号：晶圆/外延片等外观缺陷,尺寸及厚度检测；
主相机配置：线扫≥8K，面扫≥500万；
Stage：平坦度≤±1um,位置精度≤±0.1um；
软件算法：一体机，具有控制器独立的软件；
检测项目：各种不良项目及平面度
检验精度：0.5um；
检验方向：上、下、左右侧视皆可；
检出情况：检出率≥99%、误检率≤1%；
控制系统采用的执行元件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。
支持自行编程操作且简单易懂，同时可最大支持99项defect可编程检测。
支持客制化定制
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